Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Wafer-Stepper-Lithografie — žingsninė plokštelių litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer stepper lithography vok. Wafer Stepper Lithografie, f rus. последовательная шаговая литография пластин, f pranc. lithographie de projection tranche à… … Radioelektronikos terminų žodynas
Stepper (Halbleitertechnik) — Stepper (links:MA 6) und Mask Aligner (rechts: MJB3) unter photochemisch unwirksamer Beleuchtung („Gelblicht“) Ein Stepper (auch Wafer Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip für die fotolithografische… … Deutsch Wikipedia
Stepper — A stepper is a device used in the manufacture of integrated circuits (ICs) that is similar in operation to a slide projector or a photographic enlarger. Steppers are an essential part of the complex process, called photolithography, that creates… … Wikipedia
Computational lithography — (also known as computational scaling) is the set of mathematical and algorithmic approaches designed to improve the resolution attainable through photolithography. Computational lithography has come to the forefront of photolithography in 2008 as … Wikipedia
lithographie de projection tranche à tranche — žingsninė plokštelių litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer stepper lithography vok. Wafer Stepper Lithografie, f rus. последовательная шаговая литография пластин, f pranc. lithographie de projection tranche à… … Radioelektronikos terminų žodynas
žingsninė plokštelių litografija — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer stepper lithography vok. Wafer Stepper Lithografie, f rus. последовательная шаговая литография пластин, f pranc. lithographie de projection tranche à tranche, f … Radioelektronikos terminų žodynas
последовательная шаговая литография пластин — žingsninė plokštelių litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer stepper lithography vok. Wafer Stepper Lithografie, f rus. последовательная шаговая литография пластин, f pranc. lithographie de projection tranche à… … Radioelektronikos terminų žodynas
Ultratech, Inc. — Ultratech, Inc. nasdaq|UTEK is a publicly traded international technology company based in San Jose, California which supplies equipment to global semiconductor fabs and foundries, and also makes industry leading tools for nanotechnology… … Wikipedia
Fotolithografie (Halbleitertechnik) — Die Fotolithografie (auch Photolithographie) ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten. Dabei wird mittels der Belichtung das Bild einer Fotomaske auf … Deutsch Wikipedia
Zerodur — Zerodur®is a glass ceramic made by Schott AG. It has both an amorphous (vitreous) component and a crystalline component. The most important properties of Zerodur are* Nearly zero thermal expansion ( 0.02 x 10 6/K at 0 50°C) with outstanding 3D… … Wikipedia
